格里爾斯通用型質量流量計-控制器，GRYLLS-31系列數字型質量流量計/控制器由質量流量傳感器，層流分層件，流量控制器調節閥和放大控制電路組成，采用數字信號輸入輸出，具有預熱時間短，零漂小，可靠性高等特點。

格里爾斯通用型質量流量計-控制器

產品參數：

量程范圍100SCCM～3000SLM

測控范圍控制器閥控范圍50:1

準確度±1.5%F.S

線性±0.5%F.S

重復精度±0.2%F.S

響應時間<2s

數字量RS232/485，MODBUS協議

模擬量0～5V、4-20mA、1～5V

供電±15VDC，24VDC

工作溫度0～50℃

工作壓力工作壓差：0.3~0.5Mpa

大耐壓3MPa/10MPa

電氣連接DB15孔

漏率1×10-9SCCSHe

溫度系數±0.025%F.S/℃

底座材質316L

密封材質氟橡膠，氯丁橡膠

接頭φ12，法蘭安裝

格里爾斯通用型質量流量計-控制器

氣體質量流量控制器的主要工作原理

氣體質量流量控制器（MFC)/氣體質量流量計(MFM)主要是熱式工作原理、差壓式工作原理和科里奧利工作原理，其中熱式原理的氣體質量流量控制器（MFC)/氣體質量流量計(MFM)采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，所以氣體質量流量控制器的應用在工業中比較廣泛，作為一個相對精密的儀器，想要儀器有一個相對長久的使用壽命，就離不開我們在使用過程中做好維護，而且也要做好記錄。