• <li id="ysqcc"><dl id="ysqcc"></dl></li>
    <li id="ysqcc"><dl id="ysqcc"></dl></li>
    <rt id="ysqcc"><acronym id="ysqcc"></acronym></rt>
    <rt id="ysqcc"><acronym id="ysqcc"></acronym></rt>
    <code id="ysqcc"><tr id="ysqcc"></tr></code>
    技術文章您現在的位置:首頁 > 技術文章 > 艾麗卡特ALICAT真空鍍膜、濺射質量流量計/流量控制器

    艾麗卡特ALICAT真空鍍膜、濺射質量流量計/流量控制器

    更新時間:2023-05-19   點擊次數:3481次

    真空鍍膜系統內凈化氣體和反應氣體的輸入需要快速的響應和精確的控制。


    艾里卡特ALICAT質量流量控制器和壓力控制器具有快速的控制響應速度和EtherCAT通訊模式。有了這種EtherCAT通訊模式,將不再需要EtherCAT轉換器,儀表也能更輕松地整合到工業PLC網絡中。


    適用于CVD和ALD過程的防腐流量控制器

    化學蒸汽沉積(CVD)和原子層沉積(ALD)過程所用腐蝕性氣態和液態前驅體需要不會隨時間推移而被腐蝕的質量流量儀表。ALICAT艾麗卡特S系列(MC、MCES、MCVS)質量流量控制器采用316L不銹鋼材質的流量傳感器和FFKM彈性體,能夠忍受這些嚴酷的元素。

    image.png

    老化質量流量控制器的插入式替代品

    升級為艾里卡特質量流量控制器非常簡單。我們的MCE系列產品滿足SEMI對連接長度的規范要求,它可通過插入方式與眾多其它生產商的舊版MFC兼容。艾里卡特MCV是舊版MFC的插入式替代品,配有集成式啟動截止閥。

    適用于反應濺射的快速氧氣流量控制

    通過快速控制反應氣體流量,確保薄膜涂層的均勻性。艾里卡特產品控制響應時間僅50ms或更短,確保被引入您反應濺射過程的反應氣體保持一致且可重復。我們將根據您的預期過程條件設置每一臺流量控制器的PID調節功能,而且,如果您需要更改設置,您可在安裝后隨時更改這些設置。

    image.png

    響應式氣體流量控制,抑制壓力波動

    • 多功能。監控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

    • 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。

    • 耐用。MC系列氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環境影響的耐受性,我們可為您的質量流量控制器構建IP66等級防護。





    久久精品三级视频| 久久精品人人槡人妻人人玩| 精品久久久久久久中文字幕| 久久精品国产亚洲AV无码麻豆| 久久亚洲最大成人网4438| 国产精品久久国产精麻豆99网站| 国产精品18久久久久久麻辣| 久久精品无码av| 国产精品美女久久久久浪潮AV| 99久久精品全部| 成人亚洲国产精品久久| 久久亚洲国产午夜精品理论片| 亚洲欧洲精品久久| 国产精品女同一区二区久久| 久久精品国产亚洲香蕉| 久久精品无码一区二区三区日韩| 99久久精品美女高潮喷水| 国产精品久久久久AV福利动漫| 国产精品成人99久久久久 | 亚洲中文字幕久久精品无码2021| 久久99国产精品久久99果冻传媒| 久久精品国产久精国产果冻传媒| 亚洲国产精品高清久久久| 久久国产一片免费观看| 国产精品久久久尹人香蕉| 久久精品免费全国观看国产| 国内精品九九久久久精品| 性做久久久久久久免费看| 久久精品国产精品亚洲艾草网| 久久久久综合中文字幕| 精品多毛少妇人妻AV免费久久 | 俺来也俺去啦久久综合网| 久久久久无码精品国产h动漫| 久久国产劲爆AV内射—百度| 98久久人妻无码精品系列蜜桃| 久久国产精品99久久久久久牛牛| 丁香狠狠色婷婷久久综合| 精品人妻久久久久久888| 国产色综合久久无码有码| 欧美人妻少妇精品久久黑人| 国产91色综合久久免费|