如何在使用中保持質量流量控制器的精度？

如何在使用中保持質量流量控制器的精度？

　　質量流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。質量流量控制器(MFC)中設置有一個氣體流量調節閥門，閥門能使通過控制器的流量從零調節到測量的滿量程，在工作的過程當中，控制器的入口和出口之間會產生一個氣壓降，即壓差。而質量流量控制器的工作壓差范圍通常為0.1～0.3MPa，若壓差低于低值(0.1MPa)，有可能控制達不到滿量程值;若高于(0.3MPa)，有可能關閉時流量不能小于2%F.S。用戶使用質量流量控制器時，無論用戶工作的反應室是真空還是高壓，應做到使質量流量控制器進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內，并且要求氣壓要相對穩定。那么如果質量流量控制器出現流量偏差精度不高是一件非常嚴重的事情，因此當出現偏差精度不高的問題我們需及時的解決，那么如何避免質量流量控制器出現流量偏差精度不高的問題呢？

　1、出現精度不高有偏差的檢查方法：

　　a、看零點是否有漂移。接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，測量輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；

　　b、看氣體是否純凈。如果氣路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃；

　　c、看前端壓力是否發達到標定壓力。如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程，或考慮用低壓損質量流量控制器；

　　2、質量流量控制器使用中的注意事項：

　　a、根據介質、流量及工作場地的不同，選擇合適的流量計/控制器型式；

　　b、根據不同型式的流量計選擇合理的方式安裝；

　　c、定期維護，經常檢查流量計工作狀態、顯示器的連接；

　　d、定期校準質量流量計/控制器。